|
|
Nghiên cứu và thiết kế cảm biến đo độ dày màng mỏng = Research and design sensor to measure thin film thickness
|
|
|
|
|
Bài báo này trình bày nghiên cứu, thiết kế cảm biến đồng phẳng kiểu điện dung đo ước lượng độ dày màng mỏng ứng dụng trong công nghiệp. Cấu trúc cảm biến bao gồm 2 điện cực phẳng, mỏng hình chữ nhật có kích thước nhỏ cỡ milimet được gắn ở các vị trí cố định trên đế mạch in (PCB) phẳng, trong đó có một điện cực đóng vai trò điện cực phát và điện cực còn lại được đặt song song trên cùng mặt phẳng đóng vai trò điện cực thu. Cảm biến được đặt áp sát vào màng mỏng không dẫn điện để đo độ dày. Cảm biế
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Bài báo tạp chí
|
|
|
|
|